碳化硅反應器采用微反應器代替?zhèn)鹘y(tǒng)的反應器進行化學反應的工藝技術，微反應器包括微換熱器、微混合器以及微控制器，也稱為微通道反應器，它是一種利用微加工技術和精密加工技術制造的具有微結構的管道式微型反應器，替代宏觀的玻璃器皿如燒瓶、試管等及其它傳統(tǒng)間歇式反應器。

　　反應器中關鍵的部分是一系列有序的三維結構的微通道，其反應體積從幾nL到幾μL，長度通常在幾厘米左右，有利于實現(xiàn)反應物在微通道內(nèi)快速連續(xù)流動。反應器的微通道形貌、尺寸直接影響化學反應過程，所以陶瓷基微通道反應器中微通道的成型是核心，通道的密封是關鍵，陶瓷材料主要成分不同，其力學、化學、熱特性差異較大，應采用不同的加工技術。

　　反應器是一種化學氣相沉積碳化硅纖維的反應器，由上下封頭和反應室三部分組成，其特征在于：在上下封頭中分別增設2～6孔的多孔毛細管，相互同心呈直線關系，并與反應室軸線呈對稱分布，可在原有的化學氣相沉積反應條件不變情況下，同時沉積兩根以上碳化硅纖維，從而大大提高生產(chǎn)效率。

　　反應器芯片為無壓燒結碳化硅材質，具有*的耐化學腐蝕性和導熱率，可處理包括氫氟酸、KOH等強腐蝕性物質，其高導熱率決定了其具有換熱效率，改善了反應過程的傳熱條件，加快了反應效率，反應器外部支架為不銹鋼材質，帶有特制隔熱保溫層，可有利于節(jié)能降耗以及更準確的控溫。

　　反應器芯片原材料為亞微米級高純碳化硅，采用無壓燒結工藝經(jīng)2150度燒制，并經(jīng)精密加工而成；單組反應器單元為多片式結構，采用技術高溫鍵合成一個整體，芯片自身帶有溫度探頭，可靈活監(jiān)控反應溫度，滿足了媒介的快速流動，不會產(chǎn)生明顯壓降，又可保證媒介與芯片本體充分接觸，有利于精準控溫。